摘要：本文主要介紹了MEM專業(yè)的學(xué)習(xí)內(nèi)容以及相關(guān)知識(shí)點(diǎn)。MEM專業(yè)是一門關(guān)于電子材料加工與設(shè)計(jì)的學(xué)科，主要包括MEMS、NEMS、CMOS等方面的研究?jī)?nèi)容。在學(xué)習(xí)中需要掌握的重要知識(shí)點(diǎn)有：化學(xué)與物理基礎(chǔ)、微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)、納米與超微加工技術(shù)、CMOS工藝等方面。通過深入學(xué)習(xí)，畢業(yè)后可以在電子信息、生命科學(xué)、能源化學(xué)等領(lǐng)域從事相關(guān)工作。

MEM專業(yè)學(xué)什么？

MEM（Micro Electro Mechanical systems）專業(yè)是一門關(guān)于電子材料加工與設(shè)計(jì)的學(xué)科。MEMS、NEMS、CMOS等方面都是學(xué)習(xí)內(nèi)容，主要研究如何在小尺寸下設(shè)計(jì)、制造微型傳感器、執(zhí)行器、微泵、微機(jī)械系統(tǒng)，以及如何將設(shè)計(jì)好的MEMS系統(tǒng)整合到CMOS工藝中，實(shí)現(xiàn)電氣-機(jī)械耦合。

1. 化學(xué)與物理基礎(chǔ)

化學(xué)與物理基礎(chǔ)是MEM專業(yè)學(xué)習(xí)中的重點(diǎn)部分。學(xué)生需要掌握光、電、熱原理，在液體中的表面張力、毛細(xì)角度等物理現(xiàn)象方面也要有深入了解?；瘜W(xué)方面需要掌握材料合成、材料在不同環(huán)境下的耐腐蝕性等。

2. 微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)

微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)是MEM專業(yè)中的核心內(nèi)容，包括MEMS器件的設(shè)計(jì)原理、傳感器的測(cè)量原理、以及設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中的操作與優(yōu)化。在學(xué)習(xí)中需要研究MEMS器件的材料特性、機(jī)械力學(xué)與熱力學(xué)的基本原理。

3. 納米與超微加工技術(shù)

納米加工技術(shù)是MEM專業(yè)中的關(guān)鍵內(nèi)容，而MEMS的制造過程中則要求構(gòu)建微米及亞微米級(jí)別的結(jié)構(gòu)。有效地制造MEMS器件需要使用清洗、感光技術(shù)、光刻技術(shù)，甚至超微加工技術(shù)等高精度工序。

4. CMOS工藝

CMOS是MEMS技術(shù)最重要的封裝工藝。在MEMS制造過程中，常用到CMOS技術(shù)，因?yàn)槲C(jī)電系統(tǒng)的器件需要使用CMOS工藝封裝在微電子制品上，實(shí)現(xiàn)微電子器件的小尺寸加工以及高效制造。

總述：

本文主要介紹了MEM專業(yè)的學(xué)習(xí)內(nèi)容以及相關(guān)知識(shí)點(diǎn)。在MEM專業(yè)中，化學(xué)與物理基礎(chǔ)、微機(jī)電系統(tǒng)基礎(chǔ)、納米與超微加工技術(shù)以及CMOS工藝都是重要內(nèi)容。深入學(xué)習(xí)后，畢業(yè)后可以在電子信息、生命科學(xué)、能源化學(xué)等領(lǐng)域從事相關(guān)工作。

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